近日，中微公司的电容耦合高能等离子体刻蚀设备第2000个反应台顺利付运国内一家领先的半导体制造商。本批次运付客户的CCP刻蚀设备反应台有Primo AD-RIE及Primo HD-RIE系列产品，均来自该客户的重复订单。