台湾《经济日报》9月6日消息，网传台积电将关闭四台EUV，对此，台积电今日说明，不评论市场传闻。不过，台积电也提到，“本公司针对机台设备皆有年度规划，并依循计划在不影响正常营运的前提下进行例行维护与升级。”